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      压电纳米定位台和促动器已经在许多非接触式光学检测系统和接触式纳米测量系统中大量运用。压电纳米定位产品所具备的亚纳米精度、极好的一致性、纳米至亚纳米级的平面度和直线度是这些领域最新技术突破的前提。通过应用高级数字控制方法,扫描线性度可以提高数个数量级,而跟踪误差减小到亚原子水平。电容式纳米测量传感器可以测量亚纳米范围的运动并具有很高的带宽。

       压电促动器和纳米定位传感器同时也是纳米压印/微米压印机构以及纳米摩擦学/纳米制造实验的理想组件。  


测量/激光技术/光学检测/摩擦学领域

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